90 : 光学機器、写真用機器、映画用機器、測定機器、検査機器、精密機器及び医療用機器並びにこれらの部分品及び附属品

9031 : 測定用又は検査用の機器（この類の他の項に該当するものを除く。）及び輪郭投影機

9031.41 : 半導体ウエハー又は半導体デバイス（集積回路を含む。）の検査用の機器及びフォトマスク又はレチクル（半導体デバイス（集積回路を含む。）の製造に使用するものに限る。）の検査用の機器

9031.49 : その他のもの