90 : 光学機器、写真用機器、映画用機器、測定機器、検査機器、精密機器及び医療用機器並びにこれらの部分品及び附属品

9030 : オシロスコープ、スペクトラムアナライザーその他の電気的量の測定用又は検査用の機器（第90.28項の計器を除く。）及びアルファ線、ベータ線、ガンマ線、エックス線、宇宙線その他の電離放射線の測定用又は検出用の機器

9030.82 : 半導体ウエハー又は半導体デバイスの測定用又は検査用の機器（集積回路を含む。）

9030.84 : その他のもの（記録装置を有するものに限る。）

9030.89 : その他のもの