事前教示回答事例（品目分類関係）詳細
スパッタリング装置の部分品
登録番号
117001710
処理年月日
2017年4月27日
一般的品名
スパッタリング装置の部分品
税番
貨物概要
シリコンウエハーのスパッタリング装置に使用するコイル 性状：概形は帯状のものを環にしたもので、帯の末端は閉じられていない 中心から見て外側に７ヵ所の突起を有する 材質：タンタル（純度９９．９９５％以上） サイズ：直径３８５．５７ｍｍ、高さ５０．８ｍｍ、厚さ３．１８ｍｍ 機能：上記の突起が接合部となってスパッタリング装置のチャンバーに固定される コイルに高周波電力を印加させ、プラズマ密度を向上させて、銅配線のバリア層の形成に寄与する 用途：スパッタリング装置の一部を成す
出典 :「事前教示回答事例」 (税関ホームページ) (http://www.customs.go.jp/tetsuzuki_search/bunrui/J1/17/J11700787.htm) を加工して作成