事前教示回答事例（品目分類関係）詳細
半導体ウエハーから分析用試料を採取する機器
登録番号
123000492
処理年月日
2023年3月23日
一般的品名
半導体ウエハーから分析用試料を採取する機器
税番
貨物概要
半導体ウエハーの薄膜等をエッチング（分解）した後、溶液を吐出・吸引することによって試料を採取する機器（分析のための前処理用） 機能：半導体ウエハー表面の薄膜等をふっ化水素酸（液体）等でエッチング（分解）した後、シリンジポンプによって溶液を半導体ウエハーに吐出して、エッチングされた物質（場合によっては金属不純物）を吸引・回収する 用途：別工程で使用する誘導結合プラズマ質量分析装置用の分析試料を採取する サイズ：幅約200cm×奥行約220cm×高さ約220cm その他：半導体ウエハーは表面処理を行うことで製造に適さなくなり、廃棄される
出典 :「事前教示回答事例」 (税関ホームページ) (https://www.customs.go.jp/tetsuzuki_search/bunrui/J5/23/J52300134.htm) を加工して作成