事前教示回答事例（品目分類関係）詳細
スパッタリング装置の部分品
登録番号
120000492
処理年月日
2020年3月6日
一般的品名
スパッタリング装置の部分品
税番
貨物概要
フラットパネルディスプレイ製造用のスパッタリング装置に使用されるバッキングプレートと材料（ターゲット）とが一体となった部分品 性 状：バッキングプレートと、スパッタリング材料（ターゲット）とがインジウムによるボンディング法により貼り付けられた３層構造 バッキングプレート内部には水路が形成されており、また、プレートの両端には、スパッタリング装置に取り付けるためのねじ穴を有している 成分割合：（Ｔｉターゲット部） チタン１００％（３Ｎ純度） （ボンディング部：ろう材）純インジウム（純度９９．９９％以上） （バッキングプレート部） 純銅（純度９９．９６％以上…
出典 :「事前教示回答事例」 (税関ホームページ) (https://www.customs.go.jp/tetsuzuki_search/bunrui/J4/20/J42000054.htm) を加工して作成