事前教示回答事例(品目分類関係)詳細
スパッタリングターゲット
登録番号
118000454
処理年月日
2018年2月20日
一般的品名
スパッタリングターゲット
税番
貨物概要
半導体のスパッタリング装置に使用されるターゲット(バッキングプレート一体型) 成分割合:アルミニウム98.585%、銅0.994% タングステン0.421% 性状:スパッタリング装置に装着するアルミニウム合金製のターゲットで、ねじでスパッタリング装置に固定するための穴を有するもの サイズ:直径396.75mm×厚さ46.26mm 機能:スパッタリングにより、アルミニウム薄膜を形成させる 用途:スパッタリング装置のチャンバーにねじで取り付けて固定する
出典 :「事前教示回答事例」 (税関ホームページ) (http://www.customs.go.jp/tetsuzuki_search/bunrui/J1/18/J11800188.htm) を加工して作成